首页

铬靶材

简介：洛阳爱科麦钨钼科技股份有限公司生产的铬靶材包含铬平面靶和铬铌旋转靶材。纯度分别为：Cr99.5%,Cr99.7%,Cr99.8%,Cr99.9%,Cr99.95%。爱科麦制造靶材的特点 1.采用热等静压工艺，产品密度高，致密性好，晶粒均匀 2.机械加工性能较好 3.靶材相对密度大于99%，合金达到97%以上；晶粒度可达50um以下；薄膜热阻小于5%；与背板焊合率大于98%，靶材成膜后薄膜均匀性大于95%；

关键词：

铬靶材

所属分类：

咨询热线：

铬靶材

洛阳爱科麦钨钼科技股份有限公司生产的铬靶材包含铬平面靶和铬铌旋转靶材。

纯度分别为：Cr99.5%,Cr99.7%,Cr99.8%,Cr99.9%,Cr99.95%。

爱科麦制造靶材的特点

1.采用热等静压工艺，产品密度高，致密性好，晶粒均匀。

2.机械加工性能较好。

3.靶材相对密度大于99%，合金达到97%以上；晶粒度可达50um以下；薄膜热阻小于5%；与背板焊合率大于98%，靶材成膜后薄膜均匀性大于95%。

铬靶材

铬靶参数
Element元素		Cr
Purity纯度		>99.5%(2N5)
Typical sample dimension样品尺寸		Φ127mm×15mm
Density密度		7.19 g/cm3(HIP)
Hardness硬度		HV5:162-166
Grain Size 晶粒度		13μm
Appearance表面粗糙度		Ra≤0.4μm
Impurity Content杂质含量 (powder粉)	Fe	≤1200ppm
	Al	≤1700ppm
	Si	≤1400ppm
	S	≤10ppm
	C	≤60ppm
	O	≤900ppm
	P	≤30ppm
	Cu	≤20ppm
	N	≤100ppm