钼铌靶材
简介：洛阳爱科麦钨钼科技股份有限公司生产的钼铌靶材包含钼铌平面靶和钼铌旋转靶。 爱科麦制造靶材的特点。 1.产品密度高，产品致密性好，晶粒均匀。 2.机械加工性能较好。3.靶材相对密度大于99%，合金达到97%以上；晶粒度可达50um以下；薄膜热阻小于5%；与背板焊合率大于98%，靶材成膜后薄膜均匀性大于95% 常规密度：9.3g/cm3~9.5 g/cm3； 特殊工艺密度：9.7g/cm3~9.9 g/cm³
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钼铌靶材
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洛阳爱科麦钨钼科技股份有限公司生产的钼铌靶材包含钼铌平面靶和钼铌旋转靶。
爱科麦制造靶材的特点
1.产品密度高，产品致密性好，晶粒均匀。
2.机械加工性能较好。
3.靶材相对密度大于99%，合金达到97%以上；晶粒度可达50um以下；薄膜热阻小于5%；与背板焊合率大于98%，靶材成膜后薄膜均匀性大于95%。
常规密度：9.3g/cm³~9.5 g/cm³；
特殊工艺密度：9.7g/cm³~9.9 g/cm³。
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钼铌靶材参数 |
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Element元素 |
MoNb |
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Composition ratio |
Mo-10.0at%Nb |
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(Nb=10.0±1at%) |
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Purity纯度 |
>99.95%(3N5) |
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Typical sample dimension样品尺寸 |
旋转Φ151×Φ135×750mm；平面 210×112×10mm |
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Density密度 |
>9.3--9.5g/cm3（sintering），9.7--9.9g/cm3（HIP） |
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Hardness硬度 |
HV5:170-210 |
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Grain Size晶粒度 |
46μm |
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Appearance表面粗糙度 |
Ra≤0.4μm |
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Impurity Content杂质含量 |
Fe |
≤80ppm |
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Ni |
≤20ppm |
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Cu |
≤30ppm |
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Al |
≤30ppm |
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Si |
≤40ppm |
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O |
≤800ppm |
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C |
≤100ppm |
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注：所有规格均可通过机加工满足客户高精度的要求。
我公司的钼铌靶材主要应用于：
▲薄膜太阳能工业，触控工业，玻璃工业，半导体行业，光学镀膜行业。
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