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2017

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单晶硅炉用钨钼材料

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  由于钨钼材料具有耐高温、低挥发被广泛应用于单晶硅炉硅多晶硅炉中。

  如挂钩、导流筒、重锤等

 

单晶硅炉用钨钼材料

 

  单晶硅行业配件使用说明:

  钨丝绳

  又名引晶软轴,钨丝绕成股的方向和股捻成绳的方向相同称为同向捻,如绳股全部右捻称为右同向捻;绳股全部左捻,称为左同向捻。这种钨丝绳钨丝之间接触较好,表面比较平滑,挠性好,磨损小,使用寿命较长,但是容易松散和扭转;钨丝绕成股的方向和股捻成绳的方向相反称为交互捻,如绳右捻,股左捻,称为右交互捻;绳左捻,股右捻,称为左交互捻。这种钨丝绳的缺点是僵性较大,使用寿命较低,但不容易松散和扭转;钨丝绕成股的方向和股捻成绳的方向一部分相同,一部分相反,称为混合捻,混合捻具有同向捻和交互捻的特点,但制造工艺比较复杂。

  我公司有专业的钨丝绳绕制设备,采用混合捻,制做出高强度性能的钨丝绳,模拟单晶硅炉内的主副室使用温度,专业的常温和高温拉力试验机提供可靠的拉力试验数据,为客户提供安全有保障的放心产品。

  使用钨丝绳时应注意以下几点:

  1.提拉单晶棒的重量不能超过钨丝绳承重的额定高温工作拉力;

  2.每一次装炉前应先检查钨丝绳的外观表面质量,检查是否有毛刺夹股,硬物撞击的硬伤、硬结、硬折等痕迹,钨丝绳缠绕时应检查松紧程度是否均匀合适。若发现存在以上缺陷时应立即停止使用;

  3.钨丝绳在安装使用过程中应轻拿轻放,发生缠绕时应顺着绕行方向,慢慢解开,不能硬拉硬扯,从而造成死折;

  4.在装炉、出炉及开启关闭炉门时,一定要等设备的机械装置部分运行到指定位置后再进行,避免发生碰撞、挤压,损坏钨丝绳;

  5.钨丝绳经高温使用后,其内部已经重结晶,在室温下脆性加大,因此在上下料时,要轻轻敲击与钨丝绳相连的重锤、夹头等部件,避免严重的震动、击打。以免损坏钨丝绳的内部结构,造成断丝起毛刺;

  6.钨丝绳在使用中转动时,其旋转方向应沿着绕制时的捻绕方向,否则钨丝绳将发生散丝或者扭折,造成断丝;

  7.在装炉前应仔细检查钨丝绳经使用后是否造成以上所述的缺陷,经检验认为钨丝绳完好时,才能使用,否则需要更换新的钨丝绳。

  钼重锤

  做为单晶炉热场重要的钼配件之一,主要是在1450℃左右的环境下连接钨丝绳和引晶夹头,在拉升过程中保证丝绳拉伸垂直,防止做偏摆离心运动的作用,我公司的钼重锤采用国内知名的公司粉子,成品表面光滑,螺纹无烂牙、光洁度高,形位公差保证在要求范围内(三坐标检测仪),一般钼重锤根据炉子的大小而不同,也有用不锈钢304/316L和钼镧合金做单晶炉重锤。

  钼导流筒

  又名钼保温桶,钼导流筒被放在单晶炉中石墨碳毡内侧,实际测试结果显示,单晶炉炉体上部氩气变得顺畅,氩气流动加快,氧化硅在单晶炉上的沉积大大减少。因为钼导流筒温度保护,减少了加热时间,使结晶时间缩短近40%,晶体位错的发生几率也减少。所以说钼导流筒的应用降低了能耗,提高了生产效率。

  钼导流筒有平板导流筒和凹凸板钼导流筒。凹凸钼导流筒表面更光亮、用料更少,减少漫反射,。

  钼导流筒的形状呈上口大下口小的喇叭形,因各个厂家使用炉型不一样,目前较为流行的有20寸、22寸、24寸、26寸、28寸等。钼导流筒的生产加工,一般采用0.5-2.0mm高温钼板,按图纸尺寸整片切割成扇形,加热卷成喇叭形状,铆接或焊接,校正。成品钼导流筒,成品表面光洁度能打到Ra0.8-1.6,确保能与石墨碳毡能紧密切合

  钼二次加料器

  配合石英管内胆,可以避免高温条件下钼和不锈钢与硅液面接触发生反应,又具有耐高温,保护石英内胆轻微磕碰不易损坏,可以维修后再利用等特点,目前有不锈钢304/316加料器和钼合金加料器

  为单多晶硅炉内添加硅料做准备,减少升温降温的过程,增加每炉的拉晶重量,提高生产效率。

  欢迎单/多晶硅厂家订购二次加料器

洛阳爱科麦钨钼科技股份有限公司

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