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2017

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电阻式蒸发源

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　　蒸发式镀膜机常用蒸发源是用来加热膜材使之汽化蒸发的装置。目前所用的蒸发源主要有电阻加热、电子束加热、感应加热、电弧加热和激光加热等多种形式。

　　电阻加热式蒸发源：电阻式蒸发源简单、经济、可靠，被普遍应用。电阻加热式蒸发源的发热材料一般选用W、Mo、Ta、Nb等高熔点金属及Ni和Ni-Cr合金。

　　该蒸发源具有以下特点：

　　1、高熔点;2、低的饱和蒸气压;3、化学性能稳定。

　　电阻加热式蒸发源中使用钨钼产品的部件包括：

 

电阻式蒸发源

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