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2017
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电子束蒸发源--电子枪
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电子束蒸发的原理是基于电子在电场作用下，获得动能打到蒸镀材料上，使蒸镀材料加热汽化，而实现蒸发镀膜。
电子枪是电子束蒸发源。它由灯丝及其连接的阴极、聚束极、和阳极组成。其中灯丝和阴极通常由钨或钼材料制成。
电子枪加热特点：
1、电子枪加热比电阻加热具有更高的能量密度，可以蒸发高熔点材料，如W、Mo、Al2O3等，并可得到较高的蒸发速率;
2、被蒸发材料置于水冷铜坩埚内，可避免坩埚材料污染，可制备高纯薄膜;
3、电子枪蒸发粒子动能大，有利于获得致密、结合力好的膜层。
