钼靶材
洛阳爱科麦钨钼科技股份有限公司生产的钼靶包含钼平面靶(钼圆靶和钼长条靶)及钼旋转靶材。
钼平面靶材选用我公司优良板材加工而成,具有高密度,内部无裂纹和砂眼,表面光亮,色泽均匀,尺寸准确的特点。
小型钼旋压靶材选用优良棒材加工,具有外形尺寸准确,表面光滑,纯度高等特点。
常规尺寸钼旋转靶材采用热等静压工艺制作, 具有高密度(密度可达10.15 g/cm3 ),细晶粒,成型好的特点。
常规密度:10g/cm³~10.15 g/cm³;
特殊工艺密度:大于10.15g/cm³。
钼旋转靶参数 |
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Element元素 |
Mo |
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Purity纯度 |
≥99.95%(3N5) |
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Typical sample dimension 样品尺寸 |
φ153mm×φ123mm×1114mm |
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Density密度 |
10.15g/cm3 |
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Hardness 硬度 |
HV5:246-253 |
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Grain Size 晶粒度 |
35μm |
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Appearance表面粗糙度 |
Ra≤0.4μm |
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Impurity Content杂志含量 |
Pb |
≤5ppm |
C |
≤20ppm |
Cd |
≤5ppm |
Sb |
≤10ppm |
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Si |
≤10ppm |
Ni |
≤30ppm |
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Cu |
≤10ppm |
P |
≤5ppm |
|
Mg |
≤10ppm |
N |
≤50ppm |
|
Bi |
≤5ppm |
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Al |
≤15ppm |
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Ca |
≤15ppm |
|||
N |
≤ppm |
注:所有规格均可通过机加工满足客户高精度的要求。
我公司的钼靶材主要应用于:
▲ 薄膜太阳能工业,触控工业,半导体行业,光学镀膜行业
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