铌靶材

简介：爱科麦制造铌靶材的特点 1.产品密度高，产品致密性好，晶粒均匀。 2.机械加工性能较好。 3.靶材相对密度大于99%，合金达到97%以上；晶粒度可达50um以下；薄膜热阻小于5%；与背板焊合率大于98%，靶材成膜后薄膜均匀性大于95%；

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铌靶材

爱科麦制造铌靶材的特点

1.产品密度高，产品致密性好，晶粒均匀。

2.机械加工性能较好。

3.靶材相对密度大于99%，合金达到97%以上；晶粒度可达50um以下；薄膜热阻小于5%；与背板焊合率大于98%，靶材成膜后薄膜均匀性大于95%；

4.常规密度：≥8.5 g/cm³；

铌靶材

铌靶参数
Element元素		Nb
Typical sample dimension样品尺寸		8mm×100mm×320mm
Purity纯度		>99.9%(3N)
Density密度		～8.56g/cm3(HIP)
Hardness硬度		HV5:287-307
Grain Size晶粒度		38μm
Appearance表面粗糙度		Ra≤0.4μm
Impurity Content 杂质含量 (powder粉)	Ta	≤500ppm	Cr	≤20ppm
	N	≤370ppm	H	≤19ppm
	Ni	≤20ppm	Fe	≤80ppm
	Ti	≤20ppm	Mo	≤30ppm
	W	≤50ppm	Cu	≤10ppm
	Mn	≤20ppm	Al	≤20ppm
	C	≤260ppm
	Si	≤20ppm