钼铌靶材

简介：洛阳爱科麦钨钼科技股份有限公司生产的钼铌靶材包含钼铌平面靶和钼铌旋转靶。爱科麦制造靶材的特点。 1.产品密度高，产品致密性好，晶粒均匀。 2.机械加工性能较好。3.靶材相对密度大于99%，合金达到97%以上；晶粒度可达50um以下；薄膜热阻小于5%；与背板焊合率大于98%，靶材成膜后薄膜均匀性大于95% 常规密度：9.3g/cm3~9.5 g/cm3；特殊工艺密度：9.7g/cm3~9.9 g/cm³

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钼铌

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产品描述

钼铌靶材

洛阳爱科麦钨钼科技股份有限公司生产的钼铌靶材包含钼铌平面靶和钼铌旋转靶。

爱科麦制造靶材的特点

1.产品密度高，产品致密性好，晶粒均匀。

2.机械加工性能较好。

3.靶材相对密度大于99%，合金达到97%以上；晶粒度可达50um以下；薄膜热阻小于5%；与背板焊合率大于98%，靶材成膜后薄膜均匀性大于95%。

常规密度：9.3g/cm³~9.5 g/cm³；

特殊工艺密度：9.7g/cm³~9.9 g/cm³。

钼铌靶材

钼铌靶材参数
Element元素		MoNb
Composition ratio		Mo-10.0at%Nb
		(Nb=10.0±1at%)
Purity纯度		>99.95%(3N5)
Typical sample dimension样品尺寸		旋转Φ151×Φ135×750mm；平面 210×112×10mm
Density密度		>9.3--9.5g/cm3（sintering），9.7--9.9g/cm3（HIP）
Hardness硬度		HV5:170-210
Grain Size晶粒度		46μm
Appearance表面粗糙度		Ra≤0.4μm
Impurity Content杂质含量 (powder粉)	Fe	≤80ppm
	Ni	≤20ppm
	Cu	≤30ppm
	Al	≤30ppm
	Si	≤40ppm
	O	≤800ppm
	C	≤100ppm