简介：近年来，作为LCD(液晶显示)、PDP(等离子显示)等平面显示器的电极和配线材料的钼系合金靶越来越受到人们的关注。在TFT-LCD中，栅电极是一个关键部件，以前主要是用Cr／A1作为栅电极材料，随着平面显示器的大型化和高精度化，对材料的比阻抗要求越来越高，钼的比阻抗和膜应力仅为铬的1／2，同时，由于在蚀刻过程中会产生六价态Cr，对环境和健康有害，因此现在越来越多的公司改用Mo／A1作为栅电极材料，这样对Mo靶的需求也就越来越大。