电阻式蒸发源
- 分类:气相沉积用钨钼部件
- 作者:朱晓静13838452776
- 来源:
- 发布时间:2017-11-21 00:00
- 访问量:
【概要描述】蒸发式镀膜机常用蒸发源是用来加热膜材使之汽化蒸发的装置。目前所用的蒸发源主要有电阻加热、电子束加热、感应加热、电弧加热和激光加热等多种形式。电阻加热式蒸发源:电阻式蒸发源简单、经济、可靠,被普遍应用。电阻加热式蒸发源的发热材料一般选用W、Mo、Ta、Nb等高熔点金属及Ni和Ni-Cr合金。 该蒸发源具有以下特点: 1、高熔点;2、低的饱和蒸气压;3、化学性能稳定。 电阻加热式蒸发源中使用钨钼产品的部件包括:
电阻式蒸发源
【概要描述】蒸发式镀膜机常用蒸发源是用来加热膜材使之汽化蒸发的装置。目前所用的蒸发源主要有电阻加热、电子束加热、感应加热、电弧加热和激光加热等多种形式。电阻加热式蒸发源:电阻式蒸发源简单、经济、可靠,被普遍应用。电阻加热式蒸发源的发热材料一般选用W、Mo、Ta、Nb等高熔点金属及Ni和Ni-Cr合金。
该蒸发源具有以下特点:
1、高熔点;2、低的饱和蒸气压;3、化学性能稳定。
电阻加热式蒸发源中使用钨钼产品的部件包括:
- 分类:气相沉积用钨钼部件
- 作者:朱晓静13838452776
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- 发布时间:2017-11-21 00:00
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蒸发式镀膜机常用蒸发源是用来加热膜材使之汽化蒸发的装置。目前所用的蒸发源主要有电阻加热、电子束加热、感应加热、电弧加热和激光加热等多种形式。
电阻加热式蒸发源:电阻式蒸发源简单、经济、可靠,被普遍应用。电阻加热式蒸发源的发热材料一般选用W、Mo、Ta、Nb等高熔点金属及Ni和Ni-Cr合金。
该蒸发源具有以下特点:
1、高熔点;2、低的饱和蒸气压;3、化学性能稳定。
电阻加热式蒸发源中使用钨钼产品的部件包括:
关键词:
发热体
2017-11-21 00:00:00
隔热屏
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热等静压筒
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坩埚
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承载舟
2017-11-21 00:00:00
料架
2017-11-21 00:00:00
单晶硅炉用钨钼材料
2017-11-21 00:00:00
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