电子束蒸发源--电子枪
- 分类:气相沉积用钨钼部件
- 作者:朱晓静13838452776
- 来源:
- 发布时间:2017-11-21 00:00
- 访问量:
【概要描述】电子束蒸发的原理是基于电子在电场作用下,获得动能打到蒸镀材料上,使蒸镀材料加热汽化,而实现蒸发镀膜。电子枪是电子束蒸发源。它由灯丝及其连接的阴极、聚束极、和阳极组成。其中灯丝和阴极通常由钨或钼材料制成。电子枪加热特点: 1、电子枪加热比电阻加热具有更高的能量密度,可以蒸发高熔点材料,如W、Mo、Al2O3等,并可得到较高的蒸发速率; 2、被丁发材料置于水冷铜坩埚内,可避免坩埚材料污染,可制备高
电子束蒸发源--电子枪
【概要描述】电子束蒸发的原理是基于电子在电场作用下,获得动能打到蒸镀材料上,使蒸镀材料加热汽化,而实现蒸发镀膜。电子枪是电子束蒸发源。它由灯丝及其连接的阴极、聚束极、和阳极组成。其中灯丝和阴极通常由钨或钼材料制成。电子枪加热特点: 1、电子枪加热比电阻加热具有更高的能量密度,可以蒸发高熔点材料,如W、Mo、Al2O3等,并可得到较高的蒸发速率; 2、被丁发材料置于水冷铜坩埚内,可避免坩埚材料污染,可制备高
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- 作者:朱晓静13838452776
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电子束蒸发的原理是基于电子在电场作用下,获得动能打到蒸镀材料上,使蒸镀材料加热汽化,而实现蒸发镀膜。
电子枪是电子束蒸发源。它由灯丝及其连接的阴极、聚束极、和阳极组成。其中灯丝和阴极通常由钨或钼材料制成。
电子枪加热特点:
1、电子枪加热比电阻加热具有更高的能量密度,可以蒸发高熔点材料,如W、Mo、Al2O3等,并可得到较高的蒸发速率;
2、被蒸发材料置于水冷铜坩埚内,可避免坩埚材料污染,可制备高纯薄膜;
3、电子枪蒸发粒子动能大,有利于获得致密、结合力好的膜层。
关键词:
发热体
2017-11-21 00:00:00
隔热屏
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热等静压筒
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坩埚
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承载舟
2017-11-21 00:00:00
料架
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单晶硅炉用钨钼材料
2017-11-21 00:00:00
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