MOVCD机钨钼零件
- 分类:气相沉积用钨钼部件
- 作者:朱晓静13838452776
- 来源:
- 发布时间:2017-11-21 00:00
- 访问量:
【概要描述】金属有机物化学气相沉积(简称MOCVD)是技术生长III-V族,II-VI族化合物及合金的薄层单晶的主要方法。用氢气或氮气作为载气,通入液体中携带出蒸汽,与V族的氢化物(如NH3、PH3、AsH3)混合,通入反应室,在加热的衬底表面发生反应,外延生长化合物晶体薄膜。
MOVCD机钨钼零件
【概要描述】金属有机物化学气相沉积(简称MOCVD)是技术生长III-V族,II-VI族化合物及合金的薄层单晶的主要方法。用氢气或氮气作为载气,通入液体中携带出蒸汽,与V族的氢化物(如NH3、PH3、AsH3)混合,通入反应室,在加热的衬底表面发生反应,外延生长化合物晶体薄膜。
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金属有机化学气相沉积(MOCVD)
金属有机物化学气相沉积(简称MOCVD)是技术生长III-V族,II-VI族化合物及合金的薄层单晶的主要方法。用氢气或氮气作为载气,通入液体中携带出蒸汽,与V族的氢化物(如NH3、PH3、AsH3)混合,通入反应室,在加热的衬底表面发生反应,外延生长化合物晶体薄膜。
LED的发光核心是一种称为外延片(Epitaxial Slice)的复合材料,由于Mocvd技术在外延片上的成功运用,使得此种设备使用量迅速增加。
由于MOCVD设备工作时工作温度高于2000℃,钨钼也是该设备部分组件的材料。
关键词:
上一个:
阴极
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无
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阴极
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无
发热体
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隔热屏
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热等静压筒
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坩埚
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承载舟
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料架
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单晶硅炉用钨钼材料
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